近日，苏州合泉仪表科技有限公司与无锡瑞达半导体专用设备有限公司建立合作关系。合泉仪表将为瑞达半导体提供电力调整器与温度传感器等温控产品，应用于其半导体湿法清洗、腐蚀及去胶等设备，以保障工艺过程中的温度控制精度与运行稳定性。

　　

　　无锡瑞达半导体专用设备有限公司是一家专注于半导体湿法设备研发制造的高新技术企业，获评江苏省专精特新中小企业、江苏省民营科技企业及三星级上云企业。公司深耕湿法清洗、腐蚀、去胶和干燥设备领域，具备全自动、半自动半导体湿法设备的设计制造能力。公司已与华润微、中微晶园、长电科技等企业建立合作关系，累计获得授权知识产权33项，研发人员占比超过30%。

　　在半导体湿法设备运行过程中，工艺槽内的化学药液温度对晶圆清洗效果与腐蚀速率有直接影响，需保持较为严格的温度稳定性。通过行业渠道沟通，瑞达半导体技术团队与合泉仪表取得联系。针对湿法设备对多点测温、快速响应及连续运行的要求，合泉仪表提供了电力调整器与温度传感器协同的温控产品组合。温度传感器实时采集工艺槽内药液温度，电力调整器依据反馈数据调节加热功率，保障工艺周期内温度曲线贴合设定值，支持晶圆处理的良品率与一致性。双方经多轮技术交流与方案测试，最终确认合作。

　　

　　苏州合泉仪表科技在工业温控领域已有二十二年发展历程，聚焦电力调整器与温度传感器两大核心产品，为半导体设备、光伏制造、新材料制备等领域提供温度感知与功率调节的配套产品。目前，公司产品累计服务工业企业超过一万家。

　　合泉仪表总经理邓江彬表示：“能够为瑞达半导体这样的半导体装备企业提供温控支持，是对我们产品稳定性与方案适配性的认可。合泉将以本次合作为起点，凭借温控产品助力客户提升湿法设备的核心性能，在长期协作中实现共同发展。”