近日，苏州合泉仪表科技有限公司与江苏天芯微半导体设备有限公司完成多轮技术对接，双方就半导体设备核心温控系统达成合作。合泉仪表自主研发的MH三相数显电力调整器通过天芯微的送样测试，正式应用于其半导体前道核心设备的加热控制系统。

　　

　　江苏天芯微半导体设备有限公司是一家专注于高端半导体设备研发制造的高新技术企业，核心产品涵盖硅基外延设备、深硅刻蚀设备等半导体前道关键装备。公司拥有自主知识产权，多款产品服务于国内主流芯片制造企业。作为产业链核心环节，天芯微对核心零部件的性能、稳定性和可靠性有较高要求。

　　

　　半导体制造工艺对温度控制精度要求较高，外延生长、氧化扩散等关键工序需在高温环境下实现多温区独立精准调控。在前期测试中，天芯微针对设备多工位同步恒温需求开展了多轮恒温试验。合泉仪表提供的MH三相数显电力调整器，采用全数字化控制技术，实现了高精度控制，可稳定支持多个温区的独立同步调节，快速响应工艺参数变化，维持系统恒温状态。经测试验证，该产品采用高效功率调节算法，在保证温控效果的同时，使设备整体能耗降低。

　　

　　作为国内工业温控领域的企业，苏州合泉仪表科技有限公司在半导体行业拥有技术积累和应用经验。公司已先后与北方华创科技集团股份有限公司、中芯国际集成电路制造有限公司达成合作，为其提供高精度测温与控温产品，满足了多个半导体制造环节的温控技术需求。

　　合泉仪表坐落于苏州市相城区，深耕工业温控领域二十余年，建成现代化生产基地和专业研发中心，核心产品包括电力调整器、温控仪表、温度传感器等全系列温控产品，所有产品均通过国际权威认证，并提供本地化技术支持与售后服务。

　　

　　未来，合泉仪表将继续聚焦半导体、新能源等高端制造领域的核心需求，持续加大研发投入，不断突破关键技术，深化与产业链上下游企业的协同合作。