在半导体制造领域,静电被视为影响芯片良率和品质的重要因素。一颗仅几十纳米的芯片,其上数以亿计的晶体管对静电放电极为敏感,哪怕是微弱的静电脉冲,都可能导致芯片永久性损坏。昆山聚泽新材料科技有限公司推出高性能抗静电母粒,正为半导体制造环境提供关键的材料级静电防护。

半导体制造对生产环境的洁净度和静电控制有较高要求。在晶圆制造车间、封装测试车间以及物料周转环节,任何非导电材料都可能因摩擦而积累静电电荷。当静电电压累积到一定程度后突然释放,产生的瞬时电流足以击穿芯片内部的微纳米结构,造成功能失效甚至整批报废。传统的表面涂敷抗静电剂方式存在易迁移、耐久性差、受环境湿度影响大等问题,难以满足半导体制造对长效稳定防护的要求。

聚泽新材料针对半导体行业的特殊需求,研发抗静电母粒。该产品采用高分子型抗静电剂,通过与基材树脂的分子级共混,可使制品表面电阻率稳定控制在10的6次方至10的9次方欧姆范围内,满足半导体制造环境的ESD防护标准。

目前,聚泽新材料的抗静电母粒已在半导体制造的多个环节实现应用。在晶圆运输领域,采用该母粒制成的晶圆盒、传递盒和周转托盘,能够有效防止运输过程中因摩擦产生的静电积累,为晶圆提供全程静电安全保护。在封装测试环节,抗静电母粒被用于制造IC托盘、测试载具和分拣料盒等工装配件,降低了芯片在周转过程中的静电损伤风险。

此外,在半导体设备的关键零部件方面,抗静电母粒也展现出独特价值。例如,用于制造设备内部的导流部件、防护罩和绝缘隔板等,既保证了电气绝缘性能,又有效控制了静电积累,避免了因静电吸附微粒而影响产品洁净度的问题。
聚泽新材料技术负责人表示:“随着先进制程不断推进,7纳米、5纳米乃至更先进节点的芯片对静电防护的要求将更加严格。我们将持续优化抗静电母粒的性能指标,在电阻率稳定性、洁净度控制和使用寿命方面不断突破,为中国半导体产业的自主可控发展贡献力量。”
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