近日,上海福宜真空设备有限公司与苏州合泉仪表科技有限公司达成合作协议,合泉仪表 TM系列电力调整器将作为核心温控配套部件,批量应用于福宜真空的真空镀膜设备。双方将围绕高端真空装备的精准温控需求,深化产品适配与技术协同,共同提升镀膜设备的工艺可靠性与市场竞争力。
上海福宜真空设备有限公司成立于 2013 年,是专注于真空镀膜设备、镀膜工艺及核心部件研发制造的高新技术企业。公司主营工模具硬质涂层镀膜设备、磁控溅射镀膜设备、多弧离子镀膜设备等产品,广泛服务于半导体、光学、新能源等高端制造领域,在高材料利用率磁控溅射阴极等关键技术上拥有自主知识产权。

在本次合作的实际应用场景中,TM 系列电力调整器主要配套于真空镀膜设备的腔体加热与靶材温控系统。针对真空镀膜工艺对温度一致性、稳定性的严格的工艺标准,该系列产品采用全数字 PID 闭环控制技术,可实现输出功率的线性平滑调节,有效处理了传统方案中常见的电流冲击和温度波动问题。能够降低设备热冲击故障率,提升膜层厚度均匀性与生产良品率。同时产品内置过温、缺相、过流等多重保护机制,支持标准工业通讯协议,可与设备主控系统高效联动,满足高端镀膜生产对温控数据实时监测、工艺参数可追溯的管理要求。

苏州合泉仪表科技有限公司总部位于苏州市相城区,依托核心团队二十余年的行业经验、现代化生产基地与自主研发中心,公司构建起覆盖电力调整器、温控仪表、温度传感器的全品类温控产品矩阵,可针对不同行业的工况痛点,提供从核心器件选型到系统适配调试的全链条温控服务方案。凭借精准稳定的控温能力与方案落地能力,累计已为上万家工业企业处理各类温控难题,服务覆盖半导体、新能源、冶金、化工等多个核心工业领域。

此次合作既为福宜真空的设备品质升级提供了可靠的部件支撑,也为合泉仪表拓展高端装备配套市场积累了优秀案例经验。双方表示,将以此次合作为基础,持续深化技术交流,共同探索更多细分应用场景的温控服务方案。
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