2019年12月22日，昆山普乐斯电子科技有限公司（以下简称普乐斯电子）自主研发的“一种铝管柱状电极等离子晶圆清洗腔体”收到了国家知识产权局颁发的实用新型专利证书。这一专利是对半导体晶圆清洗领域所用真空等离子清洗设备真空腔体结构的优化，是新时代下等离子清洗机设备适应半导体行业要求的一次成功尝试。

　　在研发初期，普乐斯电子成立了以郭峰、国际瑞、陈晓明、王宇等为主要骨干的研发团队，以“优化等离子清洗设备腔体结构、提高晶圆表面处理效果和效率”为研发目标，依托多年行业经验，借鉴国内外新式真空等离子清洗机腔体结构，开展具有针对性的技术研讨，通过反复多次地试验以及细致严谨地调整，最终达到理想的研发目标，完成最后定型。

　　普乐斯电子于2019年3月25日向国家知识产权局申报了《一种铝管柱状电极等离子晶圆清洗腔体》专利，2019年10月18日获得授权，并于2019年12月22日，收到了该项国家实用新型专利证书。

　　普乐斯电子所生产和研发的低温等离子表面处理设备在航天、电子、光电、汽车、塑胶、纺织、生物、医疗、化工、日用品及家电等行业均有使用。近年来，普乐斯电子始终重视科技创新，持续引进高素质人才，加大科研经费投入，坚持创新推动发展理念，注重知识产权保护。

　　截至目前，普乐斯电子已拥有多项国家实用新型专利，这些专利成果为普乐斯电子今后的发展积蓄了前进的动力，在新时代下不断提升等离子清洗机科技含量，为普乐斯电子的持续发展提供了有力的科技支撑。相信在时代创新技术以及产业发展的新时期，等离子表面处理设备在各个行业和领域内必将得到更加广泛的应用，普乐斯电子将始终绷紧技术创新之弦，走自主研发之路，将国产等离子表面处理设备与国内各产业密切相连，为各产业及行业的发展尽一份力。